氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法（如气泡法、卤素检漏法等）相比，它是*。
性能指标：
氦质谱检漏仪对比
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  型   号      zui小可检漏率Pa.m³/s
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  XF1802-ZQLS-23B     2·10^-11
  XF1802-ZQLS-24B    2·10^-11
  XF1802-ZQLS-24C    2·10^-11
XF1802-ZQLS-26D/T    5·10^-12
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  型   号       反应（清除）时间 s
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  XF1802-ZQLS-23B    ＜3
  XF1802-ZQLS-24B    ＜3
  XF1802-ZQLS-24C    ＜3
XF1802-ZQLS-26D/T    ＜3
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  型   号       读数方式
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  XF1802-ZQLS-23B    表头（mV）
  XF1802-ZQLS-24B    表头和数字（量程自动切换）
  XF1802-ZQLS-24C    表头和数字（量程自动切换）
XF1802-ZQLS-26D/T    数字直读
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  型   号       特    点
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  XF1802-ZQLS-23B    单主机，带标准漏空
  XF1802-ZQLS-24B    带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），使用
              于各种检漏方法，带标准漏孔
  XF1802-ZQLS-24C    带二套粗抽系统，适用于批量检漏，
             带标准漏孔
XF1802-ZQLS-26D/T    涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
             （日本GLD030）粗抽泵（英国
             EDWARDERV12），带标准漏孔