SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。
1、进口的多口分子泵;
2、双灯丝自动切换;
3、自动调零;
4、自动校准;
5、自动量程切换;
6、铱丝离子源,使用寿命更长;
7、全自动控制,彩色触摸屏显示,功能强大;
8、带有数据输出功能。
1、进口的多口分子泵;
2、双灯丝自动切换;
3、自动调零;
4、自动校准;
5、自动量程切换;
6、铱丝离子源,使用寿命更长;
7、全自动控制,彩色触摸屏显示,功能强大;
8、带有数据输出功能。
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