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【仪器网 行业应用】氦质谱检漏仪顾名思义是一款进行检漏检测的设备。详细来讲，氦质谱检漏仪是气体工业名词术语，是指通过利用氦气或者氢气作示漏气体，通过以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。在工业生产也实验研究过程中有着较广泛的应用。以下，根据网上资料，对氦质谱检漏仪的工作原理进行如下简述：
因为氦气的本底噪声低，其分子量及粘滞系数较小，所以当设备存在漏孔时，氦气较容易通过漏孔并扩散出去。此外，由于氦系惰性气体，不会对设备产生额外腐蚀损坏，所以一般进行相关检测分析时，常用氦作示漏气体。通过将这种气体喷到接有气体分析仪，调节气体分析仪到仅对氦气反应的工作状态的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
据了解，氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*的一种技术，由于其检漏效率高，并且操作简便直接，对于检测结果的反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质量分析器是根据质量分析的原理，使用氦气作为气体泄漏的机理的气密性测定器由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子化规格构成的质量分析室、抽气系统和电气部分等构成从质谱室的灯丝放出的电子，在室内前后振动，通过室内的气体和泄漏孔与进入人室内的氦气冲撞，电离成正离子，这些氦离子在加速电场下进入人的磁场，用洛伦兹力偏转，形成圆弧状的轨道，加速氦喷雾法、氦吸引法是氦质量分析装置常用于电阻炉检测泄漏的两种方法。
由于资料有限，因而上述内容并不全面，欢迎补充。
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中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE)
展会城市：北京市展会时间：2026-05-29