UL1000Fab INFICON UL1000Fab干式氦质谱检漏仪

对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
在现有工具中安装前对部件执行检漏
工艺气体系统的检查和安装
内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

UL1000Fab干式氦质谱检漏仪  的详细介绍

INFICON UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的*真空结构，UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪提供的*的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 843，方法 1014）。

功能

• 15 级的宽测量范围
• 较短的抽气和响应时间
• 移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 确保了在所有测量范围中提供zui快的泄漏响应时间
• 抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
• 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气吸气能力和高压缩比
• 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
• 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
• 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
• 通过电子邮件进行软件更新
• 含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
• 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

• 对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
• 需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
• 在现有工具中安装前对部件执行检漏
• 工艺气体系统的检查和安装
• 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试