ZQLS-27DM型氦质谱检漏仪是新型的小型车载式氦质谱检漏仪。仪器由主机、10.2″触摸式大屏幕工控机[重仅26kg，体积为490×470×350（W×H×D）]和外接真空泵组成。小型、轻便、可携带。仪器还配有小车，移动方便。机内采用进口涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）；采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、检漏数据存储、分析、统计及打印等功能，高度智能化。
    仪器可以在测试口压强为40Pa以下时采用常规方式进行检漏。用常规方式检漏时，可以在分流状态检较大的漏隙（测试口压强在40～10^-1Pa），也可以在不分流状态检较小的漏隙（测试口压强在10^-1Pa以下）。仪器配上吸枪后，可以对内部充He的试件进行吸He法检漏，zui小可检漏率优于10^-10Pa·m³/s；仪器配上快检附件（相当于小真空室）、压He罐后,可以对密封元器件等试件进行背压法检漏，zui小可检漏率优于1×10^-9Pa·m³/s。
    仪器测量范围可达2×10^-1～2×10^-12Pa·m³/s。仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。

技术参数和配置：

1. 技术指标
仪器zui小可检漏率：优于5×10^-12Pa·m³/s
仪器反应时间：不大于3s
仪器质谱室允许工作的zui高压强：1×10²Pa
仪器测试口允许工作的zui高压强：100Pa
被检件由粗抽至检漏的自动切换点（检漏点）可调范围：40～10^-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s （密封元器件）
仪器启动时间：不大于5min
小车轮廓尺寸：650×850×520mm
仪器重量：68kg（主机、工控机、外接4l/s真空泵、小车）
仪器使用条件：环境温度5～35℃
相对湿度＜80%
供电电源：220V±10%、50Hz
仪器功耗：1.5kVA
2. 仪器内部配置
1）涡轮分子泵——美国VARIAN Turbo-V 81-T。
2）外接真空泵——美国VARIAN DS 302
3）校准漏孔，对He的漏率为10^-9量级，有校准证书。
3．附件箱内有
   离子源的易损件及小螺钉。
   各种密封垫圈（足够使用2年以上）。
   喷氦法检漏用的喷枪及气袋。
4．可以按要求配置吸枪（管长20m时，反应时间约15s）。
5. 可以按要求配置背压检漏用的快检附件。