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第五代SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪

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产品概述氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器

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产品概述
氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
性能特点
1、德国原装分子泵,双铱带离子源;
2、的气路设计,较低的颗粒物干扰;
3、自保护功能,防止本底被污染;
4、自动抽空压力和时间设定,检漏效率高;
5、故障提示和报警功能;
6、可选无线遥控功能;
7、实时监控与检漏曲线自动记录功能;
8、数字、条形、趋势图显示方式读取漏率值;
9、氦本底一键式自动清零;
10、多种检漏模式:粗检、精检、超精检、吸枪模式。
行业应用
科学研究
新能源电池
航空航天
汽车制冷
军事工业
分析仪器
发电厂
核工业
压力容器
精密机械加工
医疗仪器/仪表
真空炉、镀膜设备等装置或系统
高真空和超高真空的工程
半导体等行业


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