M203377 氦质谱检漏仪,氦质谱检漏仪价格,氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪,氦质谱检漏仪价格,氦质谱检漏仪厂家
zui小可检漏率：8×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
启动时间：≤2min

名称：氦质谱检漏仪        型号:M203377

型氦质谱检漏仪, 采用inficon技术，设备内芯使用inficon成套质谱模块，SFJ-261型氦质谱检漏仪尤其适用于半导体工业精确检漏的要求，具有启动快速、移动方便、灵敏度高、性能稳定等优点，在定期维护、临时检修气体管路和其他检漏应用中可快速提供检测结果。

主要技术指标：
zui小可检漏率：8×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
启动时间：≤2min
响应时间：≤1s
检漏口zui高压力：≤2000Pa
外型尺寸：340（W）×670（D）780（H）
优势：
1.无油式设计，所有的部件均无油，并在无油的条件下组装和测试
2.方便的移动式设计，低重心、位置适当的把手和光滑的轮廓确保在工作场所随意地移动
3.可靠性甚高的真空系统，包括干式的机械泵以及高压缩比的复合型分子泵
4.液晶显示的版面设计，让检测结果更清晰

SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。