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Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪

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好处

  • 从高真空到 PVD 流程压强条件下,能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染,实时保护晶圆和面板
  • 大化 PM 效率和工具正常使用时间,具有快速可靠的腔室条件
  • 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计小化总体拥有成本;无需泵,即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
  • 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
  • 通过定制配方优化增强*生产能力
  • 通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

  • PVD 和溅射过程模块
  • 预清洗模块
  • 非群集 PVD 工具
  • 夹钳式除气模块

规格

类型 1-100 amu
分辨率¹ <1 @="" 10%="" measured="" at="" mass="" 4,="" 20,="" 28="" and="">
检测器类型 Off-axis FC and microchannel plate EM
温度系数² <1% of="" peak="" height="" per="">
质量位置稳定性³ <0.1 amu="" over="" 24="">
峰比率稳定性⁴ <2% over="" 24="">
灵敏度(FC 模式)⁵ ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
灵敏度(标称)⁵ ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
小可检测分压⁶(FC 模式)⁵ ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
小可检测分压⁶(EM 模式)⁵ ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
大工作压力(FC 或 EM 模式) 20 mTorr (2.6E-2 mbar)
大工作压力(线性操作) 10 mTorr (1.3E-2 mbar)
大传感器工作温度 150°C
大烘烤温度⁷ 200°C
检测限值⁸ 10 ppm
环境工作温度 5 – 50°C
功率输入 20 – 30 V (dc), 30W max
以太网通信接口 Standard: CAT5e Ethernet cable connection
标准 I/O One analog input, two digital inputs, one relay, 24 V at 0.5 A
扩展 I/O(可选) Four analog inputs, four analog outputs, four relays, 24 V at 0.5 A, 12 digital inputs or outputs
1根据 1993 AVS 建议做法
2
Ar 处于 1E-4 Torr 下的 FC 信号
3
恒定 STP 时 Ar 处于 1E-4 Torr 下的 FC 信号
4
质量峰比率 2/40、4/40、20/40、28/40
5
处于 40 eV/200 μA 时
6
通过标准噪声偏差除以在 4 秒保压时间时所测传感器的灵敏度计算出的 MDPP。

7
拆除电子元件后
8
处于 1 – 5 mTorr 流程压强时
9
为确保 24 小时质量位置稳定性而激活的峰值锁定。

手册

  • Transpector XPR 3+ Brochure |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|


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