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Transpector CPM 3 紧凑型过程监控器

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公司名称 英福康（广州）真空仪器有限公司
品牌
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所在地
厂商性质 $CompanyTypeName
更新时间 2021/2/3 16:21:45
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

产品简介

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快速、现场就绪过程监测系统

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功能

ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析
ALD 就绪，测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 应用专家提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保*数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配

规格

类型		100 AMU CPM	200 AMU CPM	300 AMU CPM
分辨率		1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height
总压力范围¹		5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr
总压力精度²		+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
大离子源工作压力³		1E-3 Torr	1E-3 Torr	1E-3 Torr
标称工作压力⁴		2E-4 Torr	2E-4 Torr	2E-4 Torr
系统工作压力		1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm
灵敏度（低发射）		> 4E-6 Amps/Torr	> 2E-6 Amps/Torr	> 1E-6 Amps/Torr
灵敏度（高发射）		> 2E-5 Amps/Torr	> 1E-5 Amps/Torr	> 5E-6 Amps/Torr
小可检测分压⁵		1E-13 Torr	2E-13 Torr	4E-13 Torr
大数据速率		1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)
丰度灵敏度⁶		< 5="">	< 10="">	< 100="">
零冲击⁷		< 2="">	< 25="">	< 200="">
检测限值⁸		< 1="">	< 2="">	< 4="">
线性度⁹		+/- 20%	+/- 20%	+/- 20%
小背景压力		1E-8 Torr	1E-8 Torr	1E-8 Torr
大传感器和进气温度	°C	150	150	150

¹使用总压强镜头获得的离子源压强读数 @ 低发射

²总压强准确度 @ 低发射

³离子源大工作压强 @ 低发射

⁴2x10^-4Torr 的离子源将在四极区域产生大约 1x10^-5Torr 的压强

⁵EM 开启且保压时间为 1 秒时离子源处的 MDPP

⁶质量数 40 对 41 AMU 的贡献

⁷零冲击对 2 AMU 的贡献

⁸空气中的氪的小可检出浓度 @ 1 秒保压时间

⁹适用于 1 Torr 孔板或更低设置。0.1 至 2 倍标称孔板压强条件下的线性 @ 低发射

耗材

100 AMU CPM
零件号	明细
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring, CPM
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10	Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3	Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4	Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6	Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7	Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8	Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9	Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1	Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2	Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3	Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
200 AMU CPM
零件号	明细
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring, CPM
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10	Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3	Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4	Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6	Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7	Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8	Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9	Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1	Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2	Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3	Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
零件号	明细
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring, CPM
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10	Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3	Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4	Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6	Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7	Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8	Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9	Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1	Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2	Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3	Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

备件

100 AMU CPM
零件号	明细
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring, CPM
915-724-G1	Spare Ion Source Liner
922-204-G1	Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3	Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2	US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1	HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1	HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
200 AMU CPM
零件号	明细
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring, CPM
915-724-G1	Spare Ion Source Liner
922-204-G1	Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3	Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2	US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1	HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1	HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
300 AMU CPM
零件号	明细
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring, CPM
915-724-G1	Spare Ion Source Liner
922-204-G1	Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3	Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2	US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1	HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1	HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

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