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Transpector SPS 残余气体分析仪

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好处

  • 得益于单压取样入口,降低晶圆和面板保护的总拥有成本;是扩散、外延和 RTP 等高压过程的理想之选
  • 提供低漏气量和污染监测,确保恒定高压过程
  • 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
  • 通过定制配方优化增强*生产能力
  • 通过即时现场专家响应保护关键过程需求

典型应用

  • PVD 过程
  • 扩散和外延过程
  • 蚀刻过程包括:金属、电介质、硅刻蚀,HDP-etch
  • CVD 过程包括:高 k 电介质、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

规格

类型 100 AMU SPS 200 AMU SPS 300 AMU SPS
分辨率 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
总压力范围¹ 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)
总压力精度² ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)
大离子源工作压力³ 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)
标称工作压力⁴ 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)
系统工作压力(带孔板/劈刀) 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres
灵敏度(@ 低发射、FC 模式) >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar) >2.0E-6 amps/Torr (>1.5E-6 amps/mbar) >1.0E-6 amps/Torr (>7.6E-7 amps/mbar)
灵敏度(@ 高发射、FC 模式) >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar) >1.0E-5 amps/Torr (>7.6E-6 amps/mbar) >5.0E-6 amps/Torr (>3.8E-6 amps/mbar)
小可检测分压⁵ 1.0E-13 Torr (1.3E-13 mbar) 2.0E-13 Torr (2.6E-13 mbar) 4.0E-13 Torr (5.3E-13 mbar)
大数据速率 1.8 ms per point 1.8 ms per point 1.8 ms per point
丰度灵敏度⁶ <5> <10> <100>
零冲击⁷ <2> <25> <200>
检测限值⁸ <1> <2> <4>
小背景压力 <1.0e-8 torr=""><1.3e-8> <1.0e-8 torr=""><1.3e-8> <1.0e-8 torr=""><1.3e-8>
大传感器和进气温度 °C 150 150 150

1 使用总压强镜头获得的离子源压强读数 @ 低发射

2 总压强准确度 @ 低发射

3 离子源大工作压强 @ 低发射

4 2x10-4 Torr 的离子源将在四极区域产生大约 1x10-5 Torr 的压强

5 EM 开启且保压时间为 1 秒时离子源处的 MDPP

6 质量数 40 对 41 AMU 的贡献

7 零冲击对 2 AMU 的贡献

8 空气中的氪的小可检出浓度 @ 1 秒保压时间


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