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三温区三通道混气CVD系统是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到10-2t...
双炉体滑动PECVD系统&循环手套是一款双炉体滑动的PECVD系统,并目连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作...
小型滑动PECVD管式炉系统是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)(等离子体化学气相沉积)滑...
三温区1500°C PECVD系统是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和...
4路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),内...
OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉,预热炉(作用...
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