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三温区三通道混气CVD系统是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到10-2torr。
| 壳体结构 |  |
| 功率 | 5KW |
| 电压 | AC 208-240V单相，50/60Hz |
| 加热元件 | Fe-Cr-A1 Alloy doped by Mo |
| 最高工作温度 | 1200°C |
| 连续工作温度 | 1100°C |
| 最大加热速率 | <=20°C/min |
| 石英管&密封法兰 |  |
| 加热区长度 | *三个温区长度：（880mm，35“in total） *温区1:220mm（8.6“） *温区2:440mm（17.3“） 温区3:220mm（8.6“）注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为改设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 |
| 温控系统 |  |
| 控温精度 | +/-1°C |
| 真空密封系统 |  |
| 真空泵 | 采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米
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| 数字式真空显示计 |  |
| 气体流量计和压力表 |  |
| 阀门 | 四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量 |
| 外形尺寸 | 炉子：1100*450*670mm 底部移动架：600*600*597mm |
| 开门断电 |  |
| 净重 | 约90Kg |
| 运输重量 | 2451bs |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 |
| 质量认证 | CE认证 |
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