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三温区1500°C PECVD系统是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。
| 三温区开启式1500°C管式炉 | 工作温度1500℃连续使用温度1400℃ 个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序每个温区长度为200mm总温区长度为600mm炉管为高纯刚玉管 炉管尺寸∶（标配）60ODx53IDx1500mmL炉管尺寸∶（选配）800O.Dx73IDx1500mmL输入电源∶ 208-240VAC，单相功率∶ 6.6KW 配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。 |
| 射频电源 | 输出功率∶5-500W±1% 射频频率∶13.56 MHz ±0.005%. 反射功率∶ 200W 匹配∶自动 射频接口∶50 Ω，N-type 噪音∶<50 dB. 冷却∶风冷 电源∶AC 208-.240V;5060Hz
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| 防腐型真空计 | 输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器） 测量范围 3.8x10-5 1125 Torr. 数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为tor接头 1/8"NPT 接头 产品尺寸 46mm×28mm×126mm（长*宽*高） |
| 真空系统 | 采用TRP-12的双旋真空泵，极限真空10E.3 Torr KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连管内真空可达10E-2 Torr |
| 质量流量计混气系统 | 四个精密的质量流量计（精度15%）∶数字显示，自动控制． MFC 1范围∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范围∶0~500 scm一个混气罐，底部装有泄废液口. 4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体进气口∶4个14NPS.出气口∶4个 14NPs. 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制 |
| 温控系统 | 三个温区分别由三个温控系统控制采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序带有超温和断偶保护控温精度∶ +/- 1 °℃控温仪表操作视频 可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑 |
| 外形尺寸 | 炉体∶ 550x380x520 mm炉体下端移动柜∶ 1800×600×600mm净重∶ 220Lbs.运输重量∶ 1200lbs
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| 质保期 | 一年质保，终生维护 |
| 质量认证 | CE认证 所有电器元件（>24V）都通过UL /MET/CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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