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双炉体滑动PECVD系统&循环手套是一款双炉体滑动的PECVD系统，并目连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新—代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
| 炉体结构 | 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果 连续工作温度∶1100℃ 两个炉体都可以设置30段升降温程序 |
| 等离子体射频电源 | 输出频率∶13.56 MHz ±0.005% 射频顶值功率∶ 500W 匹配∶ 自动匹配 噪音∶<50 dB. 冷却∶空气冷却 输入电源∶208-240VAC， 单相， 50/60Hz |
| 真空系统 | 采用vRD-16的双旋真空泵， 极限真空10E-3 Torr KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连 管内真空可达10E-2 Torr |
| 质量流量计混气系统 | 四个精密的质量流量计（精度1.5%）∶ 数字显示，自动控制. MFC1范围∶ 0~100 sccm MFC2和3∶ 0~200 sccm MFC4范围∶ 0~500 sccm 一个混气罐，底部装有泄废液口. 4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体. 进气口∶4个1/4NPS. 出气口∶4个 1/4NPps. 采用PLc控制流量计，通过触摸屏进行控制 可选购气液混合装置，用于cvD系统 |
| 炉管&密封法兰 | 高纯石英管，尺寸50毫米 O.D x 44毫米 I.D x 1800 毫米 L 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计 |
| 防腐型真空计 | 输入电源 24v，1A DC（配有一电压转换器） 测量范围 3.8x10-5 --1125 Torr. 数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr 接头 KF16 接头 产品尺寸46mm×28mm×126mm（长x宽x高） |
| 循环手套箱 | 手套箱尺寸∶ 780mm（长）x700mm（宽）×650mm（高） 带有除水系统∶保持水含量<2 ppm -真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接 |
| 质保期 | 一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈） |
| 质量认证 | CE认证 所有电器元件（输入电源<24V）都通过连UL/MET/CSA认证 |
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