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简介:KRI考夫曼离子源KDC100上海伯东代理美国进口KRI考夫曼离子源KDC100中型规格栅极离子源,广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中,考夫曼离子源KDC100采用双阴极灯丝和自对准栅极,标准配置...
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简介:KRIIonSource应用领域:无栅极等离子源技术----End-Hall离子/等离子源有栅极离子源技术----RFICP离子源
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简介:上海伯东美国KRI考夫曼离子源提供多个类型的低能量高密度的电子源,从简单的热电子灯丝模式到中空阴极模式,典型应用在等离子和离子工艺中的阴极和阳极中和器,通过技术完成电子的发射,测量和束流控制,广泛...
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