KRI 考夫曼离子源 KDC 160伯东公司代理

上海伯东代理美国 进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列 ,离子能量 的栅极离子源

型号

KDC 160

供电

DC magnetic confinement

- 阴极灯丝

2

- 阳极电压

0-100V DC

电子束

OptiBeam™

- 栅极

专用, 自对准

-栅极直径

16 cm

中和器

灯丝

电源控制

KSC 1212

配置

-

- 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

- 安装

移动或快速法兰

- 高度

9.92'

- 直径

9.1'

- 离子束

聚焦
平行
散设

-加工材料

金属
电介质
半导体

-工艺气体

惰性
活性
混合

-安装距离

8-45”

- 自动控制

控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

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上海伯东 : 罗先生                               中国台湾伯东 : 王小姐
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