当前位置:仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>其他行业专用> 三维13.5nmEUV/SXR复制镜
返回产品中心> Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE”),配有多个专业的X射线实验室,作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。 随着EUV/XUV产业发展如火如荼,X射线各领域的研究也不断深入,RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累,除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外,RITE秉承着开放合作的理念,也直接向的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。 捷克RITE基于其*的复制技术 (Replication technology),聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计,定制开发速度快,质量高,工艺水平。拥有技术的工艺,能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm,组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层,的材料有Ni、Au、Mo和Ru。 超高表面精度和更低的表面粗糙度 平均粗糙度 Ra (nm) 均方根 RMS (nm) 10 μm × 10 μm 0.72 0.91 1 μm × 1 μm 0.27 0.34 Ru镀层的微观粗糙度: 面形误差精度 使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm,抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm 更高的反射率 对于光学复制技术的扩展,RITE可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)。 多箔光学镜(Multi-Foil Optics, MFO)非常适合软X射线、EUV波段和大视场的应用,由两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。可根据客户要求快速定制开发多种形状1D或2D的MFO(如龙虾眼,Kirkptrick-Baez组等)。 复制镜典型参数: • 光谱范围: EUV (60 – 200 eV);软X射线(200-2000eV);硬X射线 (2 – 10 KeV) • 镜片面形: 椭球镜(点对点聚焦),抛物面镜(平行光束),也可根据需求定制其他面形 • 光学面材料: Au, Ni, Ru等 • R ≥50% • 典型表层粗糙度: Ra≈1- 2 nm • 典型尺寸: 直径D = 5 – 250 mm;长度L=10-140mm 成像几何 加工镜片示例: 性能展示 大视场:max ±60° 衬底:玻璃或硅 开口孔径:3x3 mm - 300x300 mm 箔层厚度:30μm – 1 mm 表层材料: Au, Ni, Mo, Pt, W, .. 加工镜片示例 性能展示: MFO椭圆 KB系统 能量范围: 80 – 120 eV 焦长: 440 mm 倍率: ~ 1:1 视场: 20° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 – 1.0 mm 外形尺寸: 100 x 100x 100 mm 口径: 75 x 75 mm 金镀膜镜片 镜片间距: 1 到 5 mm 镜片间自由空间 (前视): 56% 焦点细节 激光驱动氙气和氪气极紫外辐射的聚焦光斑强度分布。 几何构型 龙虾眼镜片 能量范围5 - 10 keV 焦长: 1 000 - 1 200 mm 倍率: ~ 1:1 视场: 2° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm 外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm 口径: 18 x 18 mm 镀金镜片 镜片间距0.3 mm 镜片间自由空间 (前视): 56% 聚焦细节(FWHM = 19 arcmin),光源80µm, 8kev, MEDIPIX2探测器(CTU)。 水窗、极紫外显微 X射线光电子能谱 X射线显微成像 极紫外光刻Ø 关于RITE
RITE实验室 EUV Replicated Optic MFO多箔光学镜 (龙虾眼,KB镜组) -EUV/SXR大视场
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