当前位置：仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>探针台>PXN-100 小型探针台
返回产品中心>| 参考价 | ￥1000-￥50000/件 |
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主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。
规格 | ||
Chuck（可选） | 4" 、6"或8" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制 | |
Chuck X-Y轴行程，精度 | 4"x4"、6"x6"、8"x8"，10um | |
Chuck 旋转角度 | 0~360° | |
Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降（选配） | 4mm | |
Chuck微调升降（选配） | 4mm ，1um精度 | |
Chuck 平整度 | 5um | |
针座平台 | U型设计，可放置8个MP-80M型针座，可扩展为O型平台 | |
针座平台平整度 | 5 um | |
需求 | ||
电力 | 220 VAC, 50Hz | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
尺寸 | ||
PXN-100 | 320mm长*320mm宽*450mm高（带显微镜） | |
PXN-150 | 630mm长*460mm宽*600mm高（带显微镜） | |
PXN-200 | 750mm长*555mm宽*600mm高（带显微镜） | |
可选附件 | ||
加热台 | ||
防震桌 | ||
射频测试探头和线缆 | ||
有源探头 | ||
低电流/电容测试 | ||
高压测试 | ||
CCD视频系统 | ||
液晶漏电分析套装 | ||
屏蔽箱 | ||
镀金Chuck | ||
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