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Huace-6S 高低温探针台

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Huace-6S 高低温探针台zuida可用于12英寸以内样品测试
采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

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Huace-6S 高低温探针台


特点/应用


◆ zuida可用于12英寸以内样品测试

◆ 采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

◆ 可升降调节适合加装探针卡

◆ 可搭配多种类型显微镜

◆ 结构模块化设计,可无缝升级

◆ 探针台可根据客户要求定制。


技术参数


台体规格

样品台尺寸

6英寸/8英寸/12英寸

水平旋转

可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置

X-Y移动行程

6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

X-Y移动精度

10μm/1μm

样品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环

针座平台

U型针座平台,zuiduo可放置6-12个探针座

平台升降

可快速升降10mm/可微调升降10mm

背电极测试

样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极

温度范围

负80°到正400°

温控精度

0.01°/0.1°/1°

设备重量

约20KG/30KG


光学系统

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸,Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素


定位器

X-Y-Z移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附,真空吸附

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

针尖材质

钨钢;铍铜


可选附件:

加热台;
显示器;
转接头;
射频测试配件;

屏蔽箱;

光学平台;
镀金卡盘;
光电测试配件;

高压测试配件;

显微镜快速倾仰装置;

激光系统;

探针卡夹具;


Huace-6S 高低温探针台







北京华测试验仪器有限公司

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