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| 参数 | 单位 | FPS200M | FPS400M |
| 型号 |
| V-FPSM200 | V-FPSM400 |
| 备注 |
| - | - |
| 传感器 |
| SG | SG,ECS |
| 主动轴 |
| TX | TX |
| 空载位移[Tx] | um | 400 | 800 |
| 光束直径 | mm | 0.3 | 0.7 |
| 电压范围 | V | -20…150 | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 3.17 | 0.10 |
| 高度(Z 轴) | mm | 21.0 | 21.0 |
| 尺寸(X&Y 轴) | mm | 60*44 | 60*44 |
| 质量 | g | 300 | 300 |
| 空载共振频率(在致动方向) | Hz | 900 | 495 |
| 响应时间 | ms | 0.56 | 1.01 |
| 电容 (每个电气接口) | uF | 3.15 | 3.15 |
| 机械接口(有效负载) |
| 4 狭缝(宽度 0.6mm) | 4 狭缝(宽度 0.6mm) |
| 机械接口(框架) |
| 4孔 Ф3mm on []24*38mm | 4孔 Ф3mm on [] 24*38mm |
| 电气接口 |
| 2 RG178B/U同轴电缆 | 2 RG178B/U同轴电缆 |
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