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步进压电平台SPS35XS是基于步进压电致动器（SPA）的原理设计。它可以提供：
♦更长的行程
♦微/纳米分辨率的定位
它可以通过LA75系列的单通道线性放大器驱动。这种平台可以运行超过10e6个周期，这是由于它采用了先前*的摩擦面设计。该步进压电平台可以应用于微定位和阀门等领域中。其他指标的步进压电平台可以通过使用更小或更大的APA®致动器改造而成。
| 参数 | 单位 | SPS35XS |
| 型号 |
| V- SPSXS35 |
| 备注 |
| Preliminary data |
| 传感器 |
| MAG |
| 主动轴 |
| TX |
| 大空载位移[Tx] | mm | 5 |
| Z方向的大面外位移 | um | 10 |
| Z方向的大转动 | urad | 0 |
| XY方向的大转动 | urad | 5 |
| 电压范围 | V | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 0.5 |
| 高度(Z 轴) | mm | 15 |
| 尺寸(X & Y 轴) | mm | 30*30 |
| 分辨率 | nm | 35.0 |
| 质量 | g | 20 |
| 空载共振频率(在致动方向) | Hz | 200 |
| 响应时间 | ms | 2.50 |
| 电容 (每个电气接口) | uF | 0.25 |
| 使用寿命（周期） |
| 1.E+06 |
| 机械接口(有效负载) |
| 4M1.6螺纹孔[]17*27 |
| 机械接口(框架) |
| 4M1.6螺纹孔[]17*22 |
| 电气接口 |
| 1RG 178B/U 同轴电缆 |
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