由德国JENAer公司生产的微位移测量激光干涉ZLM800仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,运动平台变化量的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几何量的测量等。
产品功能
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,zui多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
性能优势 技术参数
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns
应用案例
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