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激光干涉仪的主要特点和维修保养

2020年03月20日 10:09

　　【仪器网维修保养】激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备的位置精度、定位精度、重复定位精度以及几何精度等进行精密测量的精密测量仪器。

　　主要特点：

　　1、同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。

　　2、设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。

　　3、可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米。

　　4、可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

　　5、全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。

　　6、集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。

　　7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差、偏摆角、俯仰角和滚动角等以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。

　　8、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

　　9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

　　维修保养：

　　1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时应托住底座，以防导轨变形。

　　2、光学零件不用时应存放在清洁的干燥盆内以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，擦拭时须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙mi混合液轻拭。

　　3、传动部件应有良好的润滑，特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用精密仪表油润滑。

　　4、使用时各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。

　　5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后仍保持不失油状态。

　　6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝都涂有红漆，不应擅自转动。

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