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微振动检测激光干涉仪ZLM900

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ZLM900-3D微振动检测激光干涉仪由德国JENAer耶拿尔公司生产,为三轴外差式双频激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量,主要用于运动平台等微位移的测量和检测,角度变化量的监测等。

详细信息 在线询价

微振动检测激光干涉仪 ZLM900-3D

 
激光干涉仪ZLM 900-3D
 
PXI数据处理器激光干涉仪ZLM900-3D
 
光学镜头ZLM 900-3D
 

世界范围内,同类产品中效率zui高的干涉仪。

  • 三轴外差式微振动检测激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量
  • 高灵活性调整模块,适用于所有数控机床的参数的测量
  • 动态测量zui大速度4m/s,实时显示三个轴的测量数据
  • 小型反射镜,带有磁性固定装置
  • 适用于笔记本电脑、PCI和PXI中线,与网络兼容
  • 位移测量标准分辨率为1nm,角度测量分辨率为0.01"
  • 使用高精度温度传感器,系统精度可达50nm/m
  • 可拓展为6轴测量
  • 外部触发zui大频率为40MHz快速调整也适用于3D
  • 所有3轴实时数据测量,无延时
  • zui多可扩展到6轴
  • 小型反射镜
  • 外部zui大触发频率40MHz


JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不仅能够精确的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。更多信息垂询!

上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分:
信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。


三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) 三角关系的设定
测量结果的统计 在位置5开始测量
位移和角度的*测量 ISO230数据统计标准

    由本公司代理,德国耶拿尔


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