XBS MBE 沉积速率监测 分子束质谱仪
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- 公司名称 北京英格海德分析技术有限公司
- 品牌
- 型号 XBSMBE
- 所在地 北京市
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2021/12/30 18:37:32
- 访问次数 786
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沉积速率监测 分子束质谱仪采用三级滤过四极杆质谱仪,适于分子束和多源分子束研究和MBE监测。
沉积速率监测 分子束质谱仪
应用:
• MBE 监测和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能残余气体研究
• 脱附 / 除气研究/烘烤周期
• 容器、过程气体污染物分析
沉积速率监测 分子束质谱仪特点:
• 灵敏度高, 检测范围从100% 至5ppb,质量数范围至510 amu.
• 长期稳定性(24h以上,峰高变化小于±0.5%).
• 交叉离子源,束接收角同轴的横断面呈 +/- 35°
• 离子源控制,用于软离子化和表观电势质谱
• 灵敏度增强用于大质量数的传输,自动质量数范围列表
• 2mm 束接受孔, 也可为特殊使用者配置
• 一级过滤处增加射频,抗污染物能力增强。
• 内置UHV 兼容的水冷却罩
• 分子束研究中,检测极限低至30 ions / s
• 监测生长速率1Å / min,或更低
• Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制
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