IMP-EPD 离子蚀刻探针－终点检测仪

IMP（Ions Milling Probe）离子蚀刻探针－终点检测仪是自带差式泵的耐用的二次离子质谱仪，*的专业检测终点仪器。用于离子蚀刻控制以及优化工艺。适用于离子刻蚀过程中的二次离子和中性粒子分析。

离子蚀刻探针－终点检测仪

应用：
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
离子蚀刻探针－终点检测仪特点：
· 高灵敏度的SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE，平行数字数据I/O，RS232脚本通讯

应用：
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点：
· 高灵敏度的SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE，平行数字数据I/O，RS232脚本通讯