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RGA系列 四极质谱仪

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HIDEN RGA系列残余气体分析四极质谱仪检测容器中的存在组分,或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的准确分析。

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HIDEN RGA系列四极质谱仪残余气体分析检测容器中的存在组分,或进行过程中产生气体的分析,针对真空诊断的准确分析。

应用:

1、残余气体或泄漏检测
2、实质上的泄漏或脱附分析
3、除气研究
4、烘烤周期
5、泵效能
6、腔室/过程气体污染物

四极质谱仪特点:

1、灵敏度PPM,质量数至300amu
2、稳定性(24小时以上,峰高变化小于±0.5%)
3、MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
4、快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
5、混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰
6、同步显示数据图,列表
7、同步背景扣除,自动质量数列表
8、数据输出为ASCII格式,至windows设备
9、即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如Excel、SPC-IV统计过程控制软件等。


北京英格海德分析技术有限公司

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