真空光纤馈通法兰真空室导光半导体应用

真空光纤馈通法兰真空室导光半导体应用
VFT光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室，以实现超高真空的应用场合，例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的*终检测。

VFT光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室，以实现超高真空的应用场合，例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的*终检测。采用VFT光纤过真空装置可以检测真空环境下，样品的透射/吸收，以及荧光反射等光学反应！ 真空光纤馈通法兰真空室导光半导体应用

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在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现，真空度高达*大10 ^-7 mbar ，操作温度高达300℃，真空室壁厚5-40mm，玻璃或金属封口光纤使性能表现提高，VFT光纤过真空装置使用牢固的金属－玻璃封口胶，使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。

VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用，还是环境检测、药*学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面，可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。 真空光纤馈通法兰真空室导光半导体应用

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VFT光纤过真空装置的光纤直径有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可选；波长可选UV200~1100nm和IR400~2500nm，可选配SMA905或者FC接头。

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