YPI-MX系列 日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪

YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（自动转移）
于透明玻璃基板的机器，也支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。

设备规格

对应板子尺寸

大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上，请与我们联系）

扫描方式

XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）

吞吐率

 

□200mm（XY）约4分钟
Φ200mm（Θ）2分钟以内
Φ150mm（Θ）1.5分钟以内
Φ100mm（Θ）1分钟以内

工作安装

转移机械手（背面吸力/边缘夹具）

设备外形尺寸

宽1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米

体重

约1,000kg

能量消耗

约2.0kW（100V）

待检查的基材

硅晶片，透明玻璃基板，蓝宝石基板，LT晶片，SiC等

低检测灵敏度

透明玻璃基板0.2μm
硅晶圆0.1μm