日本ygkcop光学视觉检查仪DF / WF-100

自动化显微镜外观检查的理想选择。
高速检查晶圆/基板缺陷和异物。

由于可以一次检查两个表面，因此在透明基板的情况下，可以同时检查正面和背面以及正面和内部，并且可以分离检查结果。

 

设备规格

对应板子尺寸

大200毫米x 200毫米

吞吐率

约1分30秒□100 mm（检测到3μm）

工作安装

手动真空吸附

设备外形尺寸

宽800毫米x深800毫米x高1,710毫米

分辨率

0.87微米

待检查的基材

晶圆，玻璃和各种基材。非图案或相同图案
（网格，针孔）

审查功能

是的