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日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列

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日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列
YPI-N系列(自动运输)
晶圆表面检测设备[YPI-N系列(自动转移)]
○○○○○○○○图片高速扫描镜面基板(硅晶片等)表面上的异物。
从小型基板(2英寸,3英寸)到8英寸晶圆,可以执行多种测量。

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日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列

日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列

日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列

YPI-MX系列(手动)玻璃基板/蓝宝石表面检查设备



 
YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列(手动)
用于透明透明玻璃基板的机器,还支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
 
 

设备规格

对应板子尺寸
大200mm x 200mm 
(如果需要200mm以上,请与我们联系)
扫描方式
XY扫描/Θ-X扫描(螺旋扫描)
吞吐率
□200mm约4分钟/Φ200mm约3分钟(可进行高速扫描)
工作安装
转移机械手(背面吸力/边缘夹具)
设备外形尺寸
宽1,320毫米x深1,000毫米x高1,700毫米
体重
约800公斤
能量消耗
约1.5kW(100V)
待检查的基材
硅片,各种薄膜的硅片
低检测灵敏度
Si晶片为0.1μm

 

深圳市秋山贸易有限公司

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手机:18875910180

联系人:黄静雯

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