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终端控制的 Sion™ 射频检测器

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功能

  • 轻松方便地替换基于 OES 的仪器，实现更精确的终点控制
  • 消除因蚀刻不足或蚀刻过度导致的腔室清洗，降低时间和材料成本
  • 降低所需干净气流级别和成本
  • 无需执行腔室窗口维护和更换，延长了工具运行时间

手册

  • Sion RF Detector for Endpoint Control |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

其他文件

  • STC Product Line Card.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

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