RFS100 射频传感器

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

功能

CVD 应用
   - 晶片计量建模（薄膜应力、薄膜厚度）
   - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
   - FDC（例如等离子体不稳定性、充电）
   - 腔室匹配（射频指纹）
PVD 应用
- 晶片计量建模（电阻率）
- FDC
- 腔室匹配（射频指纹）
蚀刻应用
   - 晶片计量建模（蚀刻速率）
   - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
   - FDC
   - 腔室匹配（射频指纹）

手册

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