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返回产品中心> 1: 产品特点: 光学面材料:Au,Ni,Mo,etc... *的复制技术 光谱范围:EUV(60-200eV) SXR(200-2000eV) j镜片形态:椭球镜,抛物面镜,也可根据需求定制其他非球面镜 典型表层粗糙度:Ra≈0.3-2nm 典型尺寸:直径(D)5-250mm;长度(L)10-100mm 2.MFO MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件,有两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。MFO一般由玻璃,硅或金属等薄片组装而成。 可根据客户要求定制多种形状(如龙虾眼,Kirkptrick-Baez等) 产品特点: 光学面材料:Au,Ni,Mo,etc... 宽视场(max±60°) 薄片厚度:30μm-1mm 孔径:3x3mm-300x300mm 能量范围:50eV-10keV) 平面,椭圆,和一般非球面 玻璃、硅和金属 表层材料:Au, Ni, Mo, Pt, W... 1.基本参数: Figure3: Parameters of standard mirrors Figure4: Ellipsoidal mirror, Ni active surface, L=100mm Au active surface, L=80mm 2.MFO Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror Figure2: Geometry of a parabolic mirror Type L D1 D2 Z1 Zd Divergence [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mrad] RE_08 50 6 10.5 72 1000 12 RE_09 100 56.6 70 45 300 450 RE_10 100 78 113 2450 2660 90 RO_001 68 11.6 14 145 270 X Figure4: Ellipsoidal mirror, 激光等离子体源, Xe和Kr EUV辐射的聚焦强度分布。 MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO椭圆K-B系统。
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