双倾斜平移台采用了2对APA35XS，可以产生3种类型的运动：
♦当两对APA35XS同步致动时，Z轴运动（平移）可达35 μm
♦ 当两个致动器以相反的相位致动时，ΘX 和/或 ΘY 运动（倾斜）可达+/- 2 mrad
双倾斜平移台基于致动器设计，配备应变计以消除回程差。为了获得三维运动，需要4通道的驱动器。如果只要求两个倾斜运动，则只需要两个通道即可。（可使用75系列驱动器的推拉模式）
| 参数 | 单位 | DTT35XS |
| 型号 |
| V- DTTXS35 |
| 备注 |
| 初步数据 |
| 传感器 |
| SG |
| 主动轴 |
| RX,RY,TZ |
| 大空载位移[Tz] | um | 35.0 |
| 大角位移 | mrad(+/-) | 2.00 |
| 出平面位移[Tx, Ty] | um | 10.0 |
| 电压范围 | V | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 2.0 |
| 高度(Z 轴) | mm | 22.0 |
| 直径 | mm | 38.1 |
| 纵向分辨率[Tz] | nm | 0.4 |
| 角度分辨率[Rx,Ry] | urad | 0.02 |
| 质量 | g | 35 |
| 空载共振频率（在致动方向） | Hz | 3200 |
| 响应时间 | ms | 0.16 |
| 电容(每个电气接口) | uF | 0.50 |
| 机械接口(有效载荷) |
| 平坦表面Ф15mm |
| 机械接口(框架) |
| 圆柱形 Ф38.1mm |
| 电气接口 |
| PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector |
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