当前位置：仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>其他行业专用>XYZ Series XYZ轴压电平台
返回产品中心>当前位置：仪器网 > 产品中心 > 行业专用仪器>其它行业专用仪器/仪表>其他行业专用>XYZ Series XYZ轴压电平台
返回产品中心>
| 参数 | 单位 | XYZ200M |
| 型号 |
| V-XYZM200 |
| 备注 |
| - |
| 传感器 |
| SG,ECS |
| 主动轴 |
| TX,TY,TZ |
| 大空载位移[Tx,Ty] | um | 180 |
| Z方向大面外位移 | um | 200 |
| Z方向的大转动 | urad | 240 |
| XY方向的大转动 | urad | 50 |
| 电压范围 | V | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 0.66 |
| 高度(Z 轴) | mm | 44.0 |
| 尺寸(X&Y 轴) | mm | 100*100 |
| 分辨率 | nm | 1.8 |
| 质量 | g | 540 |
| 空载共振频率(在致动方向) | Hz | 380 |
| 响应时间 | ms | 1.32 |
| 电容(每个电气接口) | uF | 6.30 |
| 机械接口(有效负载) |
| 物镜接口大4/55 *1.36() |
| 机械接口(框架) |
| 4 Ф4.5mm 孔 []84 |
| 电气接口 |
| 3 RG178B/U 同轴电缆 |
|
|
|
|
|
|
|
|
*您想获取产品的资料：
个人信息：
