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| 参数 | 单位 | X60S | X120S |
| 型号 |
| V-XS60 | V-XS120 |
| 备注 |
| 初步数据 | 初步数据 |
| 传感器 |
| SG | SG |
| 主动轴 |
| TX | TX |
| 大空载位移[Tx] | um | 55 | 115 |
| Z方向大面外位移 | um | 0.50 | 0.50 |
| Z方向的大转动 | urad | - | - |
| XY方向的大转动 | urad | 5 | 5 |
| 电压范围 | V | -20…150 | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 1.82 | 0.33 |
| 高度(Z 轴) | mm | 12 | 12 |
| 尺寸(X&Y 轴) | mm | 30*30 | 30*30 |
| 分辨率 | nm | 0.6 | 1.2 |
| 质量 | g | 70 | 70 |
| 空载共振频率(在致动方向) | Hz | 600 | 1200 |
| 响应时间 | ms | 0.83 | 0.42 |
| 电容 (每个电气接口) | uF | 1.55 | 1.55 |
| 机械接口(有效负载) |
| 4 M3 螺纹孔[]17*17 | 4 M3螺纹孔[]17*17 |
| 机械接口(框架) |
| 4 Ф3.5mm孔 []17*17 | 4 Ф3.5mm孔 []17*17 |
| 电气接口 |
| 2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug | 2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug |
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