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PXH-200 综合型探针台

参考价10000-300000/件
具体成交价以合同协议为准

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PXH-200探针台具有优异的机械性能和高精度测试功能,可搭配不同的测试组件实现多种测试功能,卡盘快速移动功能,可满足客户对整片晶圆高效测试的需求,非常适合研发类实验室的一次性预算购置。
测试方向:DC 直流/(IV、CV)测试、RF 射频测试、FA 失效分析测试、低电流测试、1/f 噪声测试、器件表征测试、老化测试、大功率/大电流及/大电压测试等。

详细信息 在线询价

8" 卡盘,包含中心吸附孔和多圈吸附环,真空吸附样品,均独立控制
卡盘采用空气轴承运动平台技术,可快速大行程移动,三挡控制(X,YXY
卡盘X-Y轴移动行程:200mm*200mm,精度1μm
卡盘Z轴移动行程:10mm,精度 1μm
卡盘的旋转角度:360,精度0.1°,带刻度尺
卡盘电学独立悬空,可作为背电极引出信号,台体带有接地端子
U型针座平台,可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位
针座平台快速升降行程6mm,微调行程60mm,精度1um并带自动锁定功能
龙门架结构设计,可调节显微镜在X-Y平面50mm*50mm范围内移动,精度1微米
可调节显微镜气动升降50mm,便于更换物镜,带升降开关




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