移动端
直播推荐
回放
回放
离子溅射仪是一种镀膜装置，能够被扫描电镜、电子探针等仪器用来对试样进行制备，是教学科研实验得以开展的仪器。离子溅射仪拥有紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。其原理是以荷能正离子对靶电极轰击使得溅射现象产生为基础，在基台上样品表面靶被溅射出来的中性原子沉淀成膜，使得导电层形成。
离子溅射仪通常为二级结构，通过台和样品架为正电极连接仪器外壳并且接地，负电极(加负高压)为溅射靶电极。真空腔在玻璃罩内安装好后，当腔内达到一定的真空度，在电场加速下得到充足的能量后，对负电极上的靶面进行轰击，靶面被溅射后，原子在基台的样品表面沉淀形成导电膜。
离子溅射仪常见故障：
1.使用一段时间后，溅射电流变小：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查，若是靶材变色或破裂，要对靶材进行更换；若是有油污，则用无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空；
2.在使用一段时间以后，有着过低的真空：检查溅射室中或管道内是否有油，可以使用汽油进行清洗；
3.溅射电流不稳定忽高忽低：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整；
4.过低的真空：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧；
5.真空泵出现反油现象：机械真空泵长期保持极限真空。
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
浙公网安备 33010602002722号
化工园区技术创新与产业升级绿色发展论坛
展会城市：上海市展会时间：2024-06-04