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JS-1600 小型离子溅射仪

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本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便, 〈br〉
是配合中小型扫描电子显微镜制样*的仪器。

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技术参数

靶(上部电极):材料:金,直径:64mm,厚度:0.12mm(大约)
真空室:直径:160mm,高:120mm
样品台(下部电极):溅射面积:直径:64mm,zui大放置样品数量:16个
离子电流表:zui大电流:100mA
定时器:zui长时间:900S
zui高电压: -1600V
机械泵: 2升/每秒


主要特点

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作


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