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简介:KLA接触式探针台阶仪D-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A(1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。
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