D-300 KLA接触式探针台阶仪

Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

   探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

   二、 功能

   设备特点

• 台阶高度：几纳米至1000μm

• 低触力：0.5至15mg

• 视频：500万像素率彩色摄像头

• 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

• 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

• 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪

   主要应用

• 台阶高度：2D台阶高度

• 纹理：2D粗糙度和波纹度

• 形式：2D翘曲和形状

• 应力：2D薄膜应力

   应用领域

• 半导体和复合半导体

• SIMS：二次离子质谱

• LED：发光二极管

• 太阳能

• MEMS：微电子机械系统

• 汽车

• 医疗设备

   三、应用案例

   台阶高度

  Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP 和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。

   纹理：粗糙度和波纹度

  Alpha-Step D-300 测量 2D 纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

   外形：翘曲和形状

   Alpha-Step D-300 可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step 还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

   应力：2D薄膜应力

  Alpha-Step D-300 能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。