OTF-1200X-50S-PE-S 小型滑动PECVD管式炉系统
参考价 | 面议 |
- 公司名称 合肥科晶材料技术有限公司
- 品牌
- 型号 OTF-1200X-50S-PE-S
- 所在地 合肥市
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2017/1/5 10:20:21
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参考价 | 面议 |
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(等离子体化学气相沉积)滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) (等离子体化学气相沉积)滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。
技术参数
特点 |
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开启式管式炉 |
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等离子体射频电源 |
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质保期 | 一年质保期,终身维护,(相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件) |
质量认证 | CE Certified |
使用注意事项: |
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