加热平板与晶圆夹盘系列

Instec加热平板允许同时进行样品的温控和反射光观察。相比冷热台减少了下透光孔，视型号不同有或没有上盖。

本品适用于反射式显微镜、显示面板测试、半导体检测、原子力显微镜等应用。

Instec温控晶圆夹盘于样品电测试。相比加热平板则多了用于固定样品的真空吸附槽。

本品适用于样品电测试，整体高度很小，可集成进探针台使用。

冷热平板TP104SC，样品区100x100mm半导体控温，增加气密上盖

一个典型的圆形温控晶圆夹盘