MX61A大尺寸智能型全自动显微镜

MX61A大尺寸智能型全自动显微镜用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温*化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。

MX61A大尺寸智能型全自动显微镜详细介绍：

始终提供*观察影像的光学系统
强大的缺陷检查能力

采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温*化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。
观察影像实例

明视场观察

新暗视场观察

传统的暗视场观察

自动调节*亮度

亮度光圈调节示意图

物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。

对应各种设备的实时AF

深紫外线观察用物镜

MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。

对应多种观察方法

物镜UIS2系列产品

在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。 观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。

观察影像实例

明视场观察	暗视场观察	微分干涉观察
荧光观察	近红外线观察（左）和可见 光线观察（右）的比较

提供扩展性的解决方案 提供扩展性的解决方案

适应分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模块

MX61A大尺寸智能型全自动显微镜"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来，必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换，只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。

显微镜控制软件　MX2-BSW

显微镜控制软件显示画面

显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF，还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2，能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方，快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。 *1对应本公司*的电动载物台 *2对应奥林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394数码照相机

实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI　S2/S8标准

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒

倾斜观察筒示意图

备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

洁净对应的电动物镜转换器

洁净对应的电动物镜转换器

备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。 6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。

高抗振本体

高倍率观察图像示意图

采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。

可以触摸屏操作的手控开关

手控开关操作部

配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的zui合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。

帮助实现多种观察的附件 晶圆搬送机组合

晶圆搬送机

可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

自动载物台组合

自动载物台

备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。