CX-200TM型扫描电镜

大型样品室，分析型物镜，可同时接配EDS/WDS/EBSD，在观察精细形貌同时，做化学成分和晶体结构定性定量分析。高速涡轮分子泵真空系统，操作维护简单方便。
CX-200TM标配SE探测器，观察表面精细形貌形态；可选配BSE探测器，观察材料成分反差像，同时可扩展低真空观察模式，非导电样品可直接观察；可选配全套的X射线微区分析附件（EDS、WDS,EBSD）

产品简介
        大型样品室，分析型物镜，可同时接配EDS/WDS/EBSD，在观察精细形貌同时，做化学成分和晶体结构定性定量分析。高速涡轮分子泵真空系统，操作维护简单方便。
        CX-200TM标配SE探测器，观察表面精细形貌形态；可选配BSE探测器，观察材料成分反差像，同时可扩展低真空观察模式，非导电样品可直接观察；可选配全套的X射线微区分析附件（EDS、WDS,EBSD）原位实现化学成分定性定量，及微区晶体结构定性定量分析。

主要特点：
--锥形物镜，长焦性能优越。
--中大型样品室分析型物镜，可同时接配多种探测器,有较强分析拓展能力；
--涡轮分子泵真空系统高效清洁节能，
--全数字化高度集成的电器控制系统，结构紧凑，稳定可靠，与计算机通讯采用高速USB接口。
--zui高支持5120 x 3840像素的图像采集能力，体现优良的数字化控制扫描系统对电子束的控制精度
--全自动控制能力，一键成像，自动灯丝饱和，自动聚焦，自动消象散，自动亮度对比度控制，自动电子束对 中，自动偏压，物镜光阑自动摇摆对中合轴。
--NanoStation操作软件，多种快捷按钮，简单方便，同时允许用户自定义热键，允许更高效的操作；
  图像灰度直方图实时显示，自动调整亮度对比度。
--强大的图像编辑处理能力
     

技术指标：

分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI） 
            4.0nm（30kV，BSEI） 
放大倍数：10x~300，000x
加速电压 0.5kV~30kV 
电子枪：三级自给偏压，偏压电阻可自动/手动调节，预对中发叉式钨丝阴极 
透镜系统：2个聚光镜，1个物镜 
物镜光阑：4孔可变光阑，摇摆对中合轴 
图像电位移和电旋转：±50μm（WD：10㎜）；0-360°无限 
样品室：内径φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS EBSD等分析附件. 
样品台及行程:五轴样品台，Z轴为自动，其余手动
             X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360° 
zui大样品尺寸：160mm（直径）X 71mm（高度） 
操作系统：PC机控制，Windows7，21.5英寸彩显，GUI操作软件嵌入多种图像实时分析测量工具，鼠标键盘操作 
自动功能：自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散，自动饱和，自动对中，自动偏压电阻。 
视频分辨率及帧频：选区模式：320 x 240像素   30帧/秒
                 TV 模式：640 x 480像素     10帧/秒
                 慢扫描模式：800 x 600像素（3档速度） 
                 扫描模式：1200 x 600像素（SE BSE 双信号） 
                 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840像素 
                 示波器模式 
图像格式 JPG，TIFF，BMP 
语言英语 
真空系统：带安全防护的自动高真空系统，涡轮分子泵260升/秒＋旋片式机械泵100L/min 
          真空度实时显示。
          高真空：样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr，
          低真空：样品室 1-270Pa

总功率：2KW
外形尺寸和重量： 
主机：77（W）x88（D）x150（H）㎝，350㎏ 
电脑桌：任意