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扫描电子显微镜的组成部分

2022年06月09日 08:52

　　扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)简称为扫描电镜，它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析，可广泛应用于材料、冶金、矿物、生物学领域。

　　一般来说，扫描电子显微镜由电子光学系统、信号收集和显示系统、真空系统、电源系统组成。

　　1、电子光学系统

　　组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。

　　作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。

　　2、信号收集和显示系统

　　信号收集：二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器(波谱仪和能谱仪)

　　显示系统：显示屏有两个，一个用于观察，一个用于记录照相。

　　3、真空系统

　　组成：机械泵、扩散泵

　　作用：保证电子光学系统正常工作，提供高真空度，防止样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。

　　4、电源系统

　　包括启动的各种电源，检测-放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。

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