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FERA 3 XMH 扫描电镜

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分辨率(FESEM)
 分辨率(FIB)

1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.2nm(3kV) 

25nm(30kV)

 工作真空
 电子枪真空
 离子枪真空 
 
<3×10-7 Pa
<5×10-6 Pa
 电子光学工作模式分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率1x-1,000,000x(FE-SEM);150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压200V至30KV(FE-SEM);3至30KV(FIB)
 电子枪高亮度肖特基(FE-SEM);氙离子源(FIB)
 探针电流(SEM)
 探针电流(FIB)
2pA至200nA
20pA至2uA
 扫描速度从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸zui大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1 
 显微镜控制通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作LYRA TC软件,所以显微镜的功能均可
在WindowsTM平台下实现
 自动程序的实时电子束追踪技术自动*化电子束,束斑直径和束流连续可调,自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),打开/关闭电子枪,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制通过TCP/IP

       武汉科赛思机电有限公司是一家专营工业检测、光学检测、环境检测、无损检测、材料检测、水质分析、气体检测、通用分析、生命科学、基础量具、试验机等仪器设备销售、咨询、售后维修服务的专业性公司;是目前专业的几何量计量、形位公差类超精密仪器商。
     武汉科赛思提供的产品有:圆度仪,圆柱度仪,轮廓测量仪,表面粗糙度仪,三坐标测量机,便携式三坐标测量臂,测高仪,高度仪、影像测量仪,*测长仪,测量投影仪,金相显微镜,*工具显微镜,扫描电子显微镜,涂镀层测厚仪,超声波测厚仪,凸轮轴综合测量机,曲轴综合测量机,齿轮测量中心,*预调测量仪,直读光谱仪,便携式光谱仪,合金元素分析仪,重金属元素分析仪,贵金属元素检测仪,X射线衍射仪,残余应力分析仪,日本三丰量具,瑞士TESA量具,德国马尔量具,东京精密主动测量仪等精密计量检测仪器;产品涵盖长度计量仪器、试验仪器、测绘仪器、分析仪器、实验仪器、环境试验设备、建筑仪器、光学仪器、无损检测、量具刃具。
     、来函索取产品资料。并把您的测量要求告诉我们,我公司将竭诚为您服务。
武汉科赛思机电有限公司.
:杨朝阳

,


地址:武汉市武昌区中北路彩城大厦710室
:430077

 


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