TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
产品特点：
支持最多20路实时测量晶圆温度；
温度均匀性实时曲线图和数值显示；
采集数据Excel表格导出，并生成报表；
晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告；
可快速更换TC-wafer及自定义功能;
大屏高分辨率显示；
数据最多采集10次/秒；
65瓦Type-C快速充电；
内置大容量电池，使用可达4小时；
10000条数据存储量；
支持多种传输方式，如U盘、蓝牙、无线网络；
便携一体化设计；
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