型号：ASR-VMS-6050工作台X/Y轴行程600MM*500MMZ轴行程有效空间235mm,调焦行程250mm
型号：ASR-VMS-6050
工作台 X/Y轴行程 600MM*500MM
Z轴行程 有效空间235mm,调焦行程250mm，工作距离105mm
大理石台面尺寸 650MM*550MM
玻璃台面尺寸 450MM*350MM
传动型式 传动型：X/Y/Z轴中国台湾进口精密线性导轨和中国台湾进口滚珠螺杆
测量伺服驱动系统 光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0002MM（0.2UM）
测量精度：≤2.5UM+L/250 重复精度：≤2.5UM+L/250
X/Y/Z三轴合川高性能闭环伺服电机，双重闭环控制系统
影像系统 摄像机一：高分辨率彩色1/3CCD摄像机放大倍率30-230X
摄像机二：海康威视200W像素高清相机
连续变倍镜头：普密斯高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X
光源系统 表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调
仪器外形尺寸（L*W*H） 800MM*950MM*1600MM
仪器重量（KG） 350KG
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